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      product产品及案例

      光刻胶固化烤箱

      为满足半导体封装测试行业对无氧化烘烤的需求,我司根据该行业的使用习惯、材料特性、工艺流程、烘烤的难点、烘烤出现的问题;进口设备价格高昂、供货周期长、售后不完善等,结合行业专家共同推出此系列    产品。此系列烘箱具有功能齐全、烘烤效果好、使用方便、易于操作、价格经济、货期短、售后及时等特点;该系列    无氧化烘箱,于 2012年推出至今已获得国内外多家知名半导体企业的高度认可。

      适用范围:

      适用于半导体、光电元件、能原材料、通讯产品、机电产品等作无氧化干燥、固化、焊接、退火等高温处理。

      封装测试;所有的 Lead PKG、BGA、MCM;光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜;银浆固化、模后固化、电镀退火; 基板除潮、晶圆干燥退火等。

      产品特点:

      1、密封 性设计:内材质用 SUS304 不锈钢板, 整个内桶用氩弧焊满焊,防止空气进入烘箱内,同时节省惰性气体;

      2、外部防尘处理:外材质为 SPCC 钢板经过苏打水清洗后粉体烤漆处理;

      3、节 能:保温材质为高密度纤维棉,保温效果好;

      4、分层结构设计:内箱层板高低可调,可自由取出;

      5、移 由:箱体有活动脚轮,可任意推动和固定位置;

      6、高效过 器:安装耐高温高效过滤器,获得洁净的烘烤环境, Class100;/Class10

      7、内循环风设计:强制送风内循环,确保温度均匀;

      8、氮气预热结构设计;

      9、快速降温系统:配备冷却系统,加速降温,可减少等待时间,提高效率;

      10、宽泛的温度范围选择;

      11、极低的氧含量达 20ppm。

      技术参数

      型号

      规格参数

      SEM-90

      (A~B)

      SEM- 180

      (A~B)

      SEM- 409

      (A~B)

      SEM-1260

      (A~B)

      内箱尺寸(W*D*H)mm

      350*580*400

      600*600*500

      640*640*1000

      990*1100*1250

      工作腔数量

      1

      单腔

      2

      双腔

      4

      四腔

      1

      单腔

      2

      双腔

      4

      四腔

      1

      单腔

      外型尺寸(W*D*H)mm

      以实物为准(温度不同外箱尺寸不同)

      工作温度范围

      A1: 室温~250   A2: 室温~350    B1: 室温~450

      氧含量

      20%-20ppm可调节

      机器性

      控制精度

      0.1

      分布均匀度

      ±2.0%

      升温

      时间

      250

      350

      min

      40

      70

       

       

      材质

      外部材质

      SS41 钢板粉体烤漆处理

      内部材质

      SUS304 不锈钢数控折弯成型

      隔热材质

      陶瓷纤维棉

      密封材料

      采用耐高温硅橡胶

      循环系统

      多翼式循环风扇

      氮气装置

      流量计大小可调(L/min)

      加热器

      不锈钢无尘加热器

      计时器

      0.1S9999H

      温控器

      普通标准型/触摸屏 PLC 程序控制型

      其它配件

      隔层置物架(不锈钢冲孔盘 2 片)

      安全装置

      电路系统负载?;?,风机过载?;?,温到计时时到断加热,故障警示灯

      选配件

      ①多点测温查看及记录功能;②氧含量分析仪;⑥MES/SECS功能;⑦ 高效过滤器;⑧快速降温系统

      电源(V

      220

      AC 3 5 线 380V 50HZ

      注:1、以上数据均在环境温度(QT<span style="font-size: 12px;font-family: Arial;font-variant-numeric: normal;font-varian

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