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      product产品及案例

      SEM-N系列聚酰亚胺固化

      SEM-N系列聚酰亚胺固化烤箱是一种清洁工艺烘箱,专为聚酰亚胺硬烘烤和固化应用而设计。

      许多半导体制造环境的前端机器适用于聚酰亚胺固化。

      这种昂贵的工艺导致设备在清洁度,惰性气氛能力,循环时间或数据采集方面通常不适合聚酰亚胺固化。

      SEM-N系列烤箱优化了半导体的聚酰亚胺固化工艺

      晶圆器件。它可以缩短周期时间,并为产品负载中的所有晶圆提供一致,可重复的固化过程。我们为SEM-N系列烤箱设计了一个压力释放系统,该系统包括一个可拆卸的“冷阱”,一个易于清洁的冷凝水收集器,有助于防止聚酰胺在炉内排气中积聚。


      标准功能:

      u 再循环空气100%通过99.99%HEPA过滤器过滤,用于ISO 5级(100级)或高的操作

      u 集成的PC 接口,具有实时图形显示功能

      u 氧气监控系统

      u 16千瓦加热器容量

      u 自动水控制,带不锈钢水冷盘管

      u 温度最高可达(450°C)

      u 快速循环时间,最高每分钟5°C

      u 温度均匀性为±1%

      u 每层最大23千克

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      沪公网安备 31012002005652号

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